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Gasmanagement für Atmosphärendruck-Plasmatechnologien
15. April 2010 in Dresden, Deutschland
Plasmatechnologien bei Atmosphärendruck haben in den letzten Jahren rasant an Bedeutung gewonnen und werden zunehmend in der Industrie implementiert. Ein kritischer Punkt ist jedoch der hohe Gasverbrauch, der speziell bei der Verwendung von anderen Gasen als Luft die Kosten der Plasmabehandlung bestimmt. Damit eng verbunden ist auch der erforderliche Aufwand für die Abgasentsorgung.
Bei Hochrateprozessen mit hohen Gasdurchsätzen ist eine empirische Optimierung des Gasmanagements unzureichend. Die Nutzung von plasmadiagnostischen Untersuchungen und darauf aufbauenden Simulationen von Strömung, Diffusion und Reaktionen zur Entwicklung von Atmosphärendruck-Plasmaquellen und -reaktoren mit optimiertem Gasverbrauch und -umsatz ist daher anzustreben. Neue Ansätze zur Abluft- und Abgasbehandlung müssen untersucht werden. Ziel eines optimierten Gasmanagements ist es, die Kosten für Atmosphärendruck-Plasmabehandlungen zu senken, die Qualität der Behandlung zu erhöhen und den Einfluss auf die Umwelt weiter zu verringern.
Der Workshop behandelt die aktuellen Herausforderungen optimierter Verfahren der Ver- und Endsorgung im Gasmanagement, der plasmachemischen Abscheidung zum Beispiel von siliziumbasierten Dünnschichten, die Plasmapolymerisation und das plasmachemische Ätzen aus der Sicht der Forschung und industriellen Anwendung.
Der Workshop „Gasmanagement für Atmosphärendruck-Plasmatechnologien“ wird gemeinsam vom Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS) und der Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e. V. (EFDS) organisiert.
In bewährter Form sind die Beiträge im Tagungsband zusammengefasst, den Sie vor der Veranstaltung erhalten. Dies bietet Ihnen die Möglichkeit, langfristig von dem neu erworbenen Wissen zu profitieren. Die Pausen sind bewusst so geplant, dass genügend Raum für Fachgespräche und Kontaktpflege verbleibt.
Veranstaltungsflyer (externer Link!) [PDF]
Kontakt:
Europäische Forschungsgesellschaft
Dünne Schichten e. V.
Gostritzer Straße 63
01217 Dresden
Telefon (03 51) 8 71-83 72
Telefax (03 51) 8 71-84 31
E-Mail: vanloyen@efds.org
