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Ultrapräzise Bearbeitung von Oberflächen
Speziell in der Optik und Feinmechanik sind Bearbeitungsverfahren für beliebig geformte Oberflächen, Polierfehlerkorrekturverfahren und Optik-Beschichtungstechniken, sowie Geräteentwicklungen für die sub-100nm- Lithographie und on-line-Überwachung bei der Ultrapräzisionsbearbeitung von hoher industrieller Bedeutung. Der Einsatz ultraglatter Linsen in Photolithographie-Belichtungssystemen und auch die Erweiterung der Optiken-Palette zu anderen Wellenlängenfenstern (Röntgenbereich, evtl. Infrarot) wird ebenfalls als ein wichtiges Themenfeld angesehen (z.B. für die Projektions-Röntgenlithographie).Die Ultrapräzisionstechnik beinhaltet alle Bearbeitungsverfahren, bei denen Körper und Oberflächen mit makroskopischen Abmessungen extrem präzise in Form und Glattheit hergestellt werden. Je präziser geglättet und geformt Oberflächen sind, desto bessere optische Eigenschaften weisen sie auf. Dabei muß jedoch die Bearbeitung von verschiedensten Materialien erforscht werden, da das Spektrum der optisch nutzbaren Wellenlängen sehr breit ist. Neben immer glatter und formgenauer herzustellenden Linsen für den sichtbaren Bereich werden zunehmend Optiken für den Infrarot- und auch den UV- und Röntgenbereich gefordert. Hierzu ist eine zunehmende Perfektionierung der Polierkunst aus einer Kombination konventioneller und total neuer Produktionsverfahren notwendig. Marktperspektiven ergeben sich daher sowohl für Hersteller von Bearbeitungsmaschinen als auch von optischen Komponenten und Substraten.
