Lexikon

Ionenstrahlgestützte Verfahren

PVD-Beschichtung, bei der die wachsende Schicht gleichzeitig mit einem Ionenstrahl aus einer separaten Quelle bombardiert wird (z.B. IBAD "Ion Beam Assisted Deposition" oder "Dual Ion Beam Assisted Deposition"), vgl. auch Ionenplattieren. Ionenstrahl modifiziert die Schichteigenschaften, z.B. verbesserte Haftung, gezielte Einstellung der Schichteigenspannungen etc. Speziell IBAD gilt als kostenintensives Verfahren, genutzt z.B. für die Beschichtung optischer Komponenten.


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