Empfänger

Vorhabensthema

Christian-Albrechts-Universität zu Kiel

01. Jan 2008 - 30. Apr 2009

Verbundprojekt: Mikrospulen mit magnetischem Kern für Anwendungen in Mikrotrafos und Mikro-Aktor-Arrays (MIMAK) - Teilvorhaben: Magnetische Schichtsysteme und Prozesstechnik (FKZ: 13N8977A)

AMD Fab 36 Limited Liability Company & Co. KG

01. Jan 2008 - 31. Dez 2010

Verbundprojekt: Optische Lithographie für sub-40nm Speicher- und Logik-Technologien (ANTARES) - Teilvorhaben: Überwindung der Auflösungsgrenze der Immersionslithographie mit Hilfe innovativer Strukturierungsmethoden (FKZ: 13N9672)

Qimonda Dresden GmbH & Co. oHG

01. Jan 2008 - 31. Dez 2010

Verbundprojekt: Optische Lithographie für sub-40nm Speicher- und Logik-Technologien (ANTARES) - Teilvorhaben: Innovative Strukturierungsmethoden für sub40nm DRAM-Technologien (FKZ: 13N9673)

Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS)

01. Jan 2008 - 31. Dez 2010

Verbundprojekt: Optische Lithographie für sub-40nm Speicher- und Logik-Technologien (ANTARES) - Teilvorhaben: Untersuchung von neuen Resists und Materialien für zukünftige Technologieplattformen (FKZ: 13N9674)

Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG

01. Jan 2008 - 31. Dez 2010

Verbundprojekt: Optische Lithographie für sub-40nm Speicher- und Logik-Technologien (ANTARES) - Teilvorhaben: Maskenprozesse für sub 40nm Technologien (FKZ: 13N9675)

Christian-Albrechts-Universität zu Kiel

01. Okt 2007 - 30. Jun 2009

Verbundprojekt: TMR-Sensoren als Technologieplattform für Anwendungen im Automobilbereich - Teilvorhaben: Drucksensor (FKZ: 13N9053)

NaMLab gGmbH

01. Aug 2007 - 31. Jul 2010

Verbundprojekt: Materialforschung und -charakterisierung für Speicheranwendungen realisiert durch eine Kondensator-Route (KONDOR) - Teilvorhaben: PVD/MBE-Deposition und Metallisierung (FKZ: 13N9449)

Technische Universität Dresden

16. Jul 2007 - 31. Jul 2010

Verbundprojekt: Materialforschung und -charakterisierung für Speicheranwendungen realisiert durch eine Kondensator-Route (KONDOR) - Teilvorhaben: ALD-Deposition und Ätzprozesse (FKZ: 13N9448)

Carl Zeiss NTS GmbH

01. Jul 2007 - 30. Jun 2010

Verbundprojekt: Nano-Analytik für elektronische Bauelemente mit Strukturen kleiner 40 nm - Teilvorhaben: Elektronen- und Partikelstrahltechnologie (FKZ: 13N9430)

AMD Fab 36 Limited Liability Company & Co. KG

01. Jul 2007 - 30. Jun 2010

Verbundprojekt: Nano-Analytik für elektronische Bauelemente mit Strukturen kleiner 40 nm - Teilvorhaben: Nanoanalytische Verfahren zur Charakterisierung von Halbleiterstrukturen (Technologieknoten 32 nm) (FKZ: 13N9431)

Qimonda Dresden GmbH & Co. oHG

01. Jul 2007 - 30. Jun 2010

Verbundprojekt: Nano-Analytik für elektronische Bauelemente mit Strukturen kleiner 40 nm - Teilvorhaben: Nano-Analytik für siliziumbasierte Speicherbauelemente (FKZ: 13N9432)

PREMA Semiconductor GmbH

01. Jul 2007 - 30. Jun 2010

Verbundprojekt: Innovative Spintronik - Bauelemente für Sensorik und Logik - Teilvorhaben: Applikation und Integration von magnetischen Speicher- Elementen in ASICs (FKZ: 13N9434)

Siemens Aktiengesellschaft

01. Jul 2007 - 30. Jun 2010

Verbundprojekt: Innovative Spintronik - Bauelemente für Sensorik und Logik - Teilvorhaben: Anwendung von Heusler Legierungen als hochspinpolarisierende Elektrodenmaterialien in magnetoresistiven Sensoren (FKZ: 13N9435)

Singulus Nano Deposition Technologies GmbH

01. Jul 2007 - 30. Jun 2010

Verbundprojekt: Innovative Spintronik - Bauelemente für Sensorik und Logik - Teilvorhaben: Heusler-Legierungen als Elektrode für GMR/TMR Sensoren (FKZ: 13N9462)

NaMLab gGmbH

01. Jun 2007 - 28. Feb 2010

Verbundprojekt: Metall Gate Elektroden und epitaktische Oxide als Gate-Stacks für zukünftige CMOS-Logik- und Speichergenerationen (MEGA EPOS) - Teilvorhaben: Herstellung und Analyse von high-K-Materialien für zukünftige Speicherkondensatoren (FKZ: 13N9264)