Empfänger

Vorhabensthema

Fraunhofer-Institut f. Produktionstechnik und Automatisierung (IPA)

01. Apr 1997 - 30. Nov 2000

Verbundprojekt: Abscheidung von TIN unter Vermeidung von Hochvakuum - Teilvorhaben: Untersuchung der Abscheidung von TiN unter Vermeidung von Hochvakuum in einer Laboranlage (FKZ: 13N7117)

Arthur Klink GmbH

01. Apr 1997 - 30. Nov 2000

Verbundprojekt: Abscheidung von TIN unter Vermeidung von Hochvakuum - Teilvorhaben: Fertigung der Versuchsproben und Prüfung der Schichtqualität im praxisgerechten Test (FKZ: 13N7118)

Verschleiß Schutz Technik Keller GmbH & Co. KG

01. Mar 1997 - 30. Sep 1999

Verbundprojekt: Beschichtungen zur Reduzierung von abrasivem Verschleiß an formgebenden Werkzeugen für die Kunststoffverarbeitung - Teilvorhaben: Erforschung von CVD-Verfahren für Werkzeuge in der Kunststoffverarbeitung (FKZ: 13N6742)

Fraunhofer-Institut für Schicht- u. Oberflächentechnik (IST)

01. Okt 1996 - 31. Mar 2000

Verbundprojekt: Effizienzsteigerung der Hochrateabscheidung optischer Funktionsschichten durch in-situ-Kontrolle und -Regelung: Teilvorhaben: In-situ Schichtcharakterisierung und Modellierung (FKZ: 13N6911)

Leybold Systems GmbH

01. Okt 1996 - 31. Mar 2000

Verbundprojekt: Effizienzsteigerung der Hochrateabscheidung optischer Funktionsschichten durch in-situ Kontrolle und Regelung - Teilvorhaben: Stabilisierung reaktiver Zerstäubungsprozesse und Gesamtregelungskonzept (FKZ: 13N6912)

Sentech Instruments GmbH

01. Okt 1996 - 31. Mar 2000

Verbundvorhaben: Effizienzsteigerung der Hochrateabscheidung optischer Funktionsschichten durch in-situ Kontrolle und Regelung - Teilprojekt: In-situ Spektroellipsometrie (FKZ: 13N6913)

Carl Zeiss

01. Sep 1996 - 31. Mar 1999

Hochvakuumbeschichtung auf optischen Substraten bei niedriger Temperatur (FKZ: 13N6989)

IFU GmbH

01. Sep 1996 - 30. Dez 1999

Verbundprojekt: Hochratebeschichtung bei niedrigen Temperaturen durch Plasmamodifikation mittels Bogenentladungen bei hohen Stromimpulsen - Teilvorhaben: Plasmacharakterisierung (FKZ: 13N6952)

Apollowerk Gößnitz GmbH

01. Sep 1996 - 30. Dez 1999

Verbundprojekt: Hochratebeschichtung bei niedrigen Temperaturen durch Plasmamodifikation mit Bogenentladungen bei hohen Stromimpulsen - Teilvorhaben: Einbindung neuartiger Technologien zur Eigenschaftsverbesserung verschiedener Pumpenbauteile (FKZ: 13N6973)

Metaplas Ionon Oberflächenveredelungstechnik GmbH

01. Sep 1996 - 30. Dez 1999

Verbundprojekt: Hochratebeschichtung bei niedrigen Temperaturen durch Plasmamodifikation mit Bogenentladungen bei hohen Stromimpulsen - Teilvorhaben: Hochratebeschichtung bei niedrigen Temperaturen durch Plasmamodifikation bei hohen Stromimpulsen (FKZ: 13N6974)

Leybold Systems GmbH

01. Sep 1996 - 29. Feb 2000

Verbundprojekt: Niedertemperaturabscheidung von ITO, Fluoriden, Halbleitern u. Chalgogeniden für den IR-Bereich -Teilvorhaben: Plasmaunterstützte Niedertemperaturabsch. von ITO und IR-Materialien unterstützt mit optischer in-situ-Meßtechnik (FKZ: 13N6975)

Jenoptik Laser, Optik, Systeme GmbH

01. Sep 1996 - 29. Feb 2000

Verbundprojekt: Niedertemperaturabscheidung von ITO, Fluoriden, Halbleitern und Chalgogeniden für den IR-Bereich - Teilvorhaben: Niedertemperaturabscheidung optischer Wirkschichten für den infraroten Spektralbereich (FKZ: 13N6984)

Stahlwerke Bremen GmbH

01. Jul 1996 - 30. Jun 1999

Verbundprojekt: Hochrate-Elektronenstrahlbedampfung in Kombination mit Plasmaprozessen zur wirtschaftlichen Abscheidung von neuen Schichtsystemen auf Stahlband - Teilvorhaben: Grundlegende Korrosionsuntersuchungen (FKZ: 13N6949)

Thyssen Stahl AG

01. Jul 1996 - 31. Aug 1997

Verbundprojekt: Hochrate-Elektronenstrahlbedampfung in Kombination mit Plasmaprozessen zur wirtschaftlichen Abscheidung von neuen Schichtsystemen auf Stahlband - Teilvorhaben: Ausgewählte anwendungstechnische Untersuchungen (FKZ: 13N6950)

Preussag Stahl AG

01. Jul 1996 - 30. Jun 1999

Verbundprojekt: Hochrate-Elektronenstrahlbedampfung in Kombination mit Plasmaprozessen zur wirtschaftlichen Abscheidung von neuen Schichtsystemen auf Stahlband - Teilvorhaben: Untersuchung des Umform- und Abriebverhaltens (FKZ: 13N6951)