Lexikon


A

Abscheidung ionisierter Cluster

Aluminium

Angström

Arc-Verfahren

Atto

Aufdampfen

Aufkohlen (Carburieren)

Auger Elektronen

Auger Elektronen Spektroskopie (AES)

Ausheilverfahren


B

Biomineralisation

Bogenplasmen

Borieren

Bottom-Up

Brownsche Bewegung, Brownsche Molekularbewegung


C

Chromatograpie

CMOS

CPU

CVD


D

Dendrimer

Die

Diffusion

Dip Coating

Dip Pen Nanolithography (DPN)

DNA

Dotierung

DRAM


E

eDRAM

Einsatzhärten

Elektrochemische Abscheidung

Elektrochemische Abscheidung mit Dispersion harter

Elektrolytische und chemische Beschichtung

Elektronenstrahl-CVD

Elektronenstrahl-Lithographie (EBL: electron beam

Elektropolieren

Ellipsometrie

Entkohlen

Extrazelluläre Matrix (ECM, extracellular matrix)


F

Femtometer

Fluorierung

Fraktal

Fremdstromlose Abscheidung

Fullerene

Fusionsplasmen


G

GaAs

Glimmplasmen


H

Halbleiter

Hochfrequenz-ICs

Hochtemperatur-CVD

Hybridverfahren


I

IC (Integrated Circuit)

Interstellare Plasmen

Ionenimplantation

Ionenplattieren

Ionenstrahl-CVD

Ionenstrahldeposition

Ionenstrahlgestützte Verfahren

Ionenstrahlmischen

Ionenstrahlpolieren

Ionenstrahlverfahren

Ionenstrahlätzen


L

Laser-CVD

Laser-Galvanik

Laser-Legieren

Laser-PVD

Laserbeschichtung

Laserglasieren

Laserhärten

Laserspritzen

Laserumschmelzen

Laserätzen

Leistungshalbleiter

Lichtbogen-Spritzen

Lithografie

Lithografie-Maske


M

MBE Molekularstrahl-Epitaxie

Metallorganische MBE

Metallorganisches CVD

Metallorganisches Plasma-CVD

Mitteltemperatur-CVD


N

Nanometer

Nanotechnologie

Nanotubes

Niederdruck-Lichtbogenspritzen

Niederdruck-Plasmaspritzen

Niedertemperatur-CVD

Niedertemperaturplasmen

Nitrieren

Nitrocarburieren und Carbonitrieren


P

Photo-CVD

Picometer

Plasma

Plasma-Aktivieren

Plasma-CVD

Plasma-polymerisation

Plasma-Wärmebehandlung

Plasmabeschichtung

Plasmachemie

Plasmaquelle

Plasmaspritzen

Plasmaätzen

Prozessor

Puls-Plasma-Wärmebehandlung

PVD


R

Rasterkraftmikroskop

Rastersondenmikroskopie (SPM)

Rastertunnelmikroskopie (STM)

Reaktives Ionenstrahlätzen


S

Silizieren

Speicher-ICs

Spin Coating

Sputtern

SRAM

Strukturbreiten

Substrat


T

TALIF

Target

TDLAS

Thermisches Spritzen

Thermochemische Verfahren

Thermoelektrische Materialien

Top-Down

Transistor


V

Van der Waals Wechselwirkung


W

Wafer


X

XPS

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