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Lexikon
Arc-Verfahren
PVD-Verfahren, zwischen einer Anode und dem als Kathode geschalteten Beschichtungswerkstoff (Target) wird ein Lichtbogen gezündet. In dessem Fußpunkt auf dem Target wird Material in den gasförmigen Zustand gebracht und erreicht mit hohem Ionisierungsgrad das Substrat. Gute Haftfestigkeiten erreichbar, allerdings Problem der Aufbringung schmelzflüssiger, aus dem Target herausgeschleuderter Teilchen (Droplets) auf das Substrat, dadurch rauhe Schichten. eingesetzt z.B. in der Werkzeugbeschichtung.
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