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Forschung & Entwicklung
Empfänger |
Vorhabensthema |
Christian-Albrechts-Universität zu Kiel |
01. Jan 2008 - 30. Apr 2009 Verbundprojekt: Mikrospulen mit magnetischem Kern für Anwendungen in Mikrotrafos und Mikro-Aktor-Arrays (MIMAK) - Teilvorhaben: Magnetische Schichtsysteme und Prozesstechnik (FKZ: 13N8977A) |
AMD Fab 36 Limited Liability Company & Co. KG |
01. Jan 2008 - 31. Dez 2010 |
Qimonda Dresden GmbH & Co. oHG |
01. Jan 2008 - 31. Dez 2010 Verbundprojekt: Optische Lithographie für sub-40nm Speicher- und Logik-Technologien (ANTARES) - Teilvorhaben: Innovative Strukturierungsmethoden für sub40nm DRAM-Technologien (FKZ: 13N9673) |
Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS) |
01. Jan 2008 - 31. Dez 2010 Verbundprojekt: Optische Lithographie für sub-40nm Speicher- und Logik-Technologien (ANTARES) - Teilvorhaben: Untersuchung von neuen Resists und Materialien für zukünftige Technologieplattformen (FKZ: 13N9674) |
Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG |
01. Jan 2008 - 31. Dez 2010 Verbundprojekt: Optische Lithographie für sub-40nm Speicher- und Logik-Technologien (ANTARES) - Teilvorhaben: Maskenprozesse für sub 40nm Technologien (FKZ: 13N9675) |
Christian-Albrechts-Universität zu Kiel |
01. Okt 2007 - 30. Jun 2009 Verbundprojekt: TMR-Sensoren als Technologieplattform für Anwendungen im Automobilbereich - Teilvorhaben: Drucksensor (FKZ: 13N9053) |
NaMLab gGmbH |
01. Aug 2007 - 31. Jul 2010 Verbundprojekt: Materialforschung und -charakterisierung für Speicheranwendungen realisiert durch eine Kondensator-Route (KONDOR) - Teilvorhaben: PVD/MBE-Deposition und Metallisierung (FKZ: 13N9449) |
Technische Universität Dresden |
16. Jul 2007 - 31. Jul 2010 Verbundprojekt: Materialforschung und -charakterisierung für Speicheranwendungen realisiert durch eine Kondensator-Route (KONDOR) - Teilvorhaben: ALD-Deposition und Ätzprozesse (FKZ: 13N9448) |
Carl Zeiss NTS GmbH |
01. Jul 2007 - 30. Jun 2010 Verbundprojekt: Nano-Analytik für elektronische Bauelemente mit Strukturen kleiner 40 nm - Teilvorhaben: Elektronen- und Partikelstrahltechnologie (FKZ: 13N9430) |
AMD Fab 36 Limited Liability Company & Co. KG |
01. Jul 2007 - 30. Jun 2010 Verbundprojekt: Nano-Analytik für elektronische Bauelemente mit Strukturen kleiner 40 nm - Teilvorhaben: Nanoanalytische Verfahren zur Charakterisierung von Halbleiterstrukturen (Technologieknoten 32 nm) (FKZ: 13N9431) |
Qimonda Dresden GmbH & Co. oHG |
01. Jul 2007 - 30. Jun 2010 Verbundprojekt: Nano-Analytik für elektronische Bauelemente mit Strukturen kleiner 40 nm - Teilvorhaben: Nano-Analytik für siliziumbasierte Speicherbauelemente (FKZ: 13N9432) |
PREMA Semiconductor GmbH |
01. Jul 2007 - 30. Jun 2010 Verbundprojekt: Innovative Spintronik - Bauelemente für Sensorik und Logik - Teilvorhaben: Applikation und Integration von magnetischen Speicher- Elementen in ASICs (FKZ: 13N9434) |
Siemens Aktiengesellschaft |
01. Jul 2007 - 30. Jun 2010 Verbundprojekt: Innovative Spintronik - Bauelemente für Sensorik und Logik - Teilvorhaben: Anwendung von Heusler Legierungen als hochspinpolarisierende Elektrodenmaterialien in magnetoresistiven Sensoren (FKZ: 13N9435) |
Singulus Nano Deposition Technologies GmbH |
01. Jul 2007 - 30. Jun 2010 Verbundprojekt: Innovative Spintronik - Bauelemente für Sensorik und Logik - Teilvorhaben: Heusler-Legierungen als Elektrode für GMR/TMR Sensoren (FKZ: 13N9462) |
NaMLab gGmbH |
01. Jun 2007 - 28. Feb 2010 Verbundprojekt: Metall Gate Elektroden und epitaktische Oxide als Gate-Stacks für zukünftige CMOS-Logik- und Speichergenerationen (MEGA EPOS) - Teilvorhaben: Herstellung und Analyse von high-K-Materialien für zukünftige Speicherkondensatoren (FKZ: 13N9264) |
Bitte beachten Sie, daß es sich nicht um eine vollständige Liste aller Förderprojekte handelt! Eine
Auflistung weiterer Förderprojekte finden sie im entsprechenden Förderkatalog des BMBF/BMWA bzw.im
Förderkatalog der Deutschen Forschungsgemeinschaft.
