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Lexikon
Ionenimplantation
Ionenstrahlverfahren, Einbau von hochenergetischen Teilchen (keV bis MeV) durch Beschuß der Substratoberfläche. Insbesondere eingesetzt in der Mikroelektronik zur Dotierung von Halbleitern, aber auch in einigen Fällen zum Verschleißschutz.
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