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Lexikon
Laser-CVD
CVD-Verfahren, wobei die chemische Reaktion durch einen Laserstrahl ausgelöst wird, der auf das Substrat gerichtet ist. Lokal deutlich höhere Abscheideraten als bei konventioneller CVD, Möglichkeit der lokalen Abscheidung (Schreiben von Mikrostrukturen).
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